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激光光刻防蚀技术制作方法以及特点

发布日期:2019-01-19 作者:雪胜冲孔网 点击:

 激光光刻防蚀技术在民用领域使用较多,特别是对于那些平面金属零件上的凹陷图文蚀刻,制作防蚀层是很方便的,但这项技术不宜用于制作图文凸起的防蚀层加工。其制作方法如下:

 (1)表面涂覆防蚀剂:经脱脂干燥后的零件,采用喷涂或浸涂的方式在零件表面均匀涂上一层防蚀材料,这一步和刻划法基本相同,只是激光光刻法不需要很厚的防蚀层,厚度在0。05mm左右为宜。涂好防蚀层的零件经干燥后,即可用激光光刻机雕刻图文。

 (2)激光雕刻防蚀层图文:需要雕刻的图文经专用程序设计好后,输人激光光刻机,将零件在光刻机上定位,然后即可开始进行雕刻。这一方法的关键技术是对激光光刻机的熟练操作和图文文件的设计。

 激光精密加工有如下显著特点:

 (1)范围广泛:激光精密加工的对象范围很宽,包括几乎所有的金属材料和非金属材料;适于材料的烧结、打孔、打标、切割、焊接、表面改性和化学气相沉积等。而电解加工只能加工导电材料,光化学加工只适用于易腐蚀材料,等离子加工难以加工某些高熔点的材料。

 (2)精确细致:激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特别适合于精密加工。激光精密加工质量的影响因素少,加工精度高,在一般情况下均优于其它传统的加工方法。

 (3)高速快捷:从加工周期来看,电火花加工的工具电极精度要求高、损耗大,加工周期较长;电解加工的加工型腔、型面的阴极模设计工作量大,制造周期亦很长;光化学加工工序复杂;而激光精密加工操作简单,切缝宽度方便调控,可立即根据电脑输出的图样进行高速雕刻和切割、加工速度快,加工周期比其它方法均要短。

 (4)安全可靠:激光精密加工属于非接触加工,不会对材料造成机械挤压或机械应力;相对于电火花加工、等离子弧加工,其热影响区和变形很小,因而能加工十分微小的零部件。

 (5)成本低廉:不受加工数量的限制,对于小批量加工服务,激光加工更加便宜。对于大件产品的加工,大件产品的模具制造费用很高,激光加工不需任何模具制造,而且激光加工完全避免材料冲剪时形成的塌边,可以大幅度地降低企业的生产成本提高产品的档次。

 (6)切割缝细小:激光切割的割缝一般在0.1-0.2mm。

 (7)切割面光滑:激光切割的切割面无毛刺。

 (8)热变形小:激光加工的激光割缝细、速度快、能量集中,因此传到被切割材料上的热量小,引起材料的变形也非常小。

 (9)节省材料:激光加工采用电脑编程,可以把不同形状的产品进行材料的套裁,最大限度地提高材料的利用率,大大降低了企业材料成本。

  (10)非常适合新产品的开发:一旦产品图纸形成后,马上可以进行激光加工,你可以在最短的时间内得到新产品的实物。

  总的来说,激光精密加工技术比传统加工方法有许多优越性,其应用前景十分广阔。

 


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关键词:激光冲孔,激光打孔,激光光刻

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